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簡(jiǎn)要描述：晶圓生產(chǎn)完成后，需要對(duì)其進(jìn)行各種參數(shù)的檢測(cè)，在檢測(cè)的過(guò)程中，需要在不同溫度下進(jìn)行測(cè)試，晶圓測(cè)試用溫控設(shè)備（晶圓測(cè)試溫控系統(tǒng)）是高精度，高分辨率，高穩(wěn)定性的控制設(shè)備。
產(chǎn)品型號(hào)：PTXH產(chǎn)品產(chǎn)地：上海更新時(shí)間：2024-10-28訪 問(wèn) 量：4524產(chǎn)品分類
詳細(xì)介紹
晶圓生產(chǎn)完成后，需要對(duì)其進(jìn)行各種參數(shù)的檢測(cè)，在檢測(cè)的過(guò)程中，需要在不同溫度下進(jìn)行測(cè)試。本實(shí)用新型屬于半導(dǎo)體測(cè)試技術(shù)領(lǐng)域。晶圓測(cè)試用溫控設(shè)備（晶圓測(cè)試溫控系統(tǒng)）是高精度，高分辨率，高穩(wěn)定性的控制設(shè)備，操作簡(jiǎn)單，可非標(biāo)定制。
控溫系統(tǒng)：自主開發(fā)的溫度控制模塊，改變控制設(shè)定的方法，能夠盡快的響應(yīng)過(guò)程中系統(tǒng)的滯后，得到最小溫度過(guò)沖?？刂朴蓛山MPID（每組PID是可變的）控制回路構(gòu)成，這兩組控制回路成為主回路和從回路，主回路的控制輸出作為從回路的設(shè)定值。系統(tǒng)采用帶有前饋PV，主控回路的PID運(yùn)行結(jié)果的輸出與前饋PV信號(hào)復(fù)合后作為主控回路的設(shè)定值，通過(guò)這樣對(duì)溫度變化進(jìn)行梯度控制，保證系統(tǒng)的溫度精度。
高效換熱系統(tǒng)：系統(tǒng)采用管道式加熱冷卻，參與循環(huán)的液體非常少，制冷采用板式換熱器，，換熱效率高、結(jié)構(gòu)緊湊，加熱采用管道式法蘭加熱器，整個(gè)系統(tǒng)的容積（板式換熱器容積+管道式加熱器容積+循環(huán)泵內(nèi)容積+循環(huán)管路容積）。
控制重復(fù)性：基于高級(jí)動(dòng)態(tài)控制系統(tǒng)，每次都能實(shí)現(xiàn)一致的控制結(jié)果，大大提升產(chǎn)品生產(chǎn)的穩(wěn)定性。
產(chǎn)品外觀：外觀設(shè)計(jì)吸取國(guó)外進(jìn)口產(chǎn)品的設(shè)計(jì)理念，采用大口徑石英玻璃液位計(jì)，液位計(jì)與操作屏放在同一側(cè)，觀察方便，風(fēng)格簡(jiǎn)約時(shí)尚，比列協(xié)調(diào)，專有的色彩搭配。
超高溫降溫技術(shù)：采用超高溫降溫技術(shù)，可以滿足在300℃高溫直接開啟壓縮機(jī)制冷降溫。
質(zhì)量保障：所有的關(guān)鍵部件均選用進(jìn)口品牌，確保產(chǎn)品長(zhǎng)時(shí)間可靠運(yùn)行。同時(shí)所有產(chǎn)品發(fā)貨前均經(jīng)過(guò)嚴(yán)格測(cè)試與檢驗(yàn)，確保設(shè)備到客戶現(xiàn)場(chǎng)不會(huì)出現(xiàn)任何問(wèn)題。
了解溫控設(shè)備設(shè)備晶圓高低溫系統(tǒng)、半導(dǎo)體溫控系統(tǒng)、探針臺(tái)高低溫設(shè)備、載物臺(tái)控溫系統(tǒng)、載物臺(tái)高低溫系統(tǒng)選普泰克。
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